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实验室安全管理制度

多孔硅样品制备操作规程
2018年03月06日 12:13:26  

1. 将硅片切成2cm×2cm的正方形,依次在超声仪中用丙酮、 乙醇、去离子水将其彻底清洗10min;

2. 配置腐蚀液,将氢氟酸和乙醇按照一定比例进行配置。在配置腐蚀液时一定要用塑料量筒进行配置,切记要做好安全措施,带好橡胶手套,防止液体溅出;

3. 把清洗好的样品放到腐蚀槽中,并在腐蚀槽上方20cm处放置卤素灯,光照强度为100 lux;注意卤素灯要安装牢固,防止掉落。

4. 将有效面积为0.785cm2的硅片浸泡于配置好的腐蚀液中;

5. 用Labview8.0软件对电流进行设置;

6. 以铜棒做为腐蚀电极的阴极,铜片作为腐蚀电极的阳极,打开设置好的程序,使电流从电源正极流到硅片,再从硅片流到电源负极;注意观察电流值变化,防止电流过大。

7. 腐蚀完毕后将腐蚀好的硅片拿出,用去离子水和酒精进行冲洗,然后将硅片吹干即可。样品吹干后必须立即关闭吹风机电源,并拔出电源插头。

 

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